アフターサービス - 東京化工機株式会社

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アフターサービス

納入装置点検サービス実施中

既設設置の安定稼働を目的として

  • 故障トラブルの予防
  • 生産基板の品質安定
  • 摩擦部品の交換提案
  • 装置性能のグレードアップ提案

点検サービスの指摘事項事例

  • 搬送系:チェーン・スプロケット・ギア等の磨耗
  • スプレー系:オシレーション駆動部の摩擦、スプレー配管液漏れ
  • 筐体系:本体液漏れ、フタの漏れ、ポンプの異音
  • 電気系:電気接点腐食のPM(事前補修)管理

装置グレードアップ提案事例

  • 薄物搬送(基板厚100µm、60µm、25µm)への改善
  • エッチング精度の向上、エミネント方式・スーパーオシレーションによる改善
  • 歩留まり向上を目的としたユニット交換の更新
  • 他社装置のメンテナンス及び機能改善相談

リニューアルで性能UPしませんか!?

リニューアル事例(国内A社様の事例)

エッチングのノズル配列等を見直ししたら...

リニューアル前

基振上國

基振上面
R(Max-Mln) 13.8 Etch Rate(sec/µm) 2.6
R/2X (%) 21.8 標準偏差(µm) 3.7

基板下画

基板下面
R(Max-Mln) 10.6 Etch Rate(sec/µm) 2.1
R/2X (%) 13.7 標準偏差(µm) 2.0
リニューアル後

基振上國

基振上面
R(Max-Mln) 6.3 Etch Rate(sec/µm) 2.4
R/2X (%) 8.6 標準偏差(µm) 1.3

基板下画

基板下面
R(Max-Mln) 3.6 Etch Rate(sec/µm) 2.0
R/2X (%) 4.1 標準偏差(µm) 0.6

さらに、エミネント方式・スーパーオシレーション技術を採用することで、装置のグレードアップが可能です。
※仕様は改良のため、変更する場合がございますので、ご了承おきください。

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