剥離装置 - 東京化工機株式会社

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レジスト剥離装置の他、高温剥離や微細回路向け剥離(アミン系剥離液)もラインナップしており、効果的にレジストを除去することが可能。
レジスト(ドライフィルム)剥離片の回収にはクリーンフィルター式(振動)とドラム式(回転)をラインナップ。

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