エミネントシリーズ新世代エッチング装置
エミネントⅢ
固定式シャワー管のエミネントシリーズを発売以来、性能向上を目的に改善を進めて参りました。
この度エミネントシリーズ新世代装置である「エミネントⅢ」をラインナップに追加致しました。
ユニフォミティ(均一性)の改善当社デモ機比 (薬液:塩化第二銅)
ワーク表面の液流れを改善することでユニフォミティが約4%改善し品質の向上・安定性に寄与します。
エミネントⅡ | エミネントⅢ | |
---|---|---|
エッチング時間 | 75 sec | 58 sec |
スプレイ圧 | 0.18 MPa | 0.18 MPa |
偏差値 | 1.01 μm | 0.56 μm |
レンジ | 4 μm | 2.8 μm |
エッチレートの向上当社デモ機比 (薬液:塩化第二銅)
液量、液流れを改善しエッチレートが約14%向上した事で生産性のアップに貢献します。
基板条件 | |
---|---|
銅厚 | 18μm |
DF厚 | 20μm |
基材厚 | 0.15mm |
L/S | 25/25μm |
補正L/S | なし |
エッチファクターの向上当社デモ機比 (薬液:塩化第二銅)
スプレー圧を変えることなく基板への打力を改善した事でエッチファクターが向上しました。
基板条件 | |
---|---|
銅厚 | 18μm |
DF厚 | 15μm |
基材厚 | 0.15mm |
L/S | 30/30μm |
補正L/S | 40/20μm |